Introduction

發光二極體製造

磊晶用光阻劑 EPG 516系列

EPG516系列具有高敏感度和耐熱性佳的正型光阻劑，應用於積體電路的製造。

 

● 高敏感度
● 附著性佳
● 耐熱性佳
● 較大製程寬容度