Introduction

發光二極體製造

磊晶用光阻劑 EPG 567 系列

 EPG 567 系列為正型厚膜光阻劑,應用於 LED與 MEMS的 ICP 及 RIE蝕刻製程。

 

 解析度佳

 垂直的圖型

 抗ICP蝕刻特性佳

 耐熱性佳

 較大製程寬容度